高真空管式炉

真空气氛管式炉

一．详细介绍

ZKGSL—150—1 真空管式高温炉以进口硅碳棒为发热元件，额定温度1400℃，采用S型单铂铑热电偶测温和日本“岛电”温控仪自动控温，具有较高的控温精度（±1℃）。此外该炉具有真空装置，可在多种气氛下工作，大大提高了其使用范围。该炉具有使用温度高、高精度控温、等优点。炉管材质采用优质耐高温的刚玉管，专门设计用于精密机械零件热处理、纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、化工材料、陶瓷电容器气氛烧结、真空烧结等。管式炉采用高铝纤维制品隔热、保温，优质刚玉管炉膛,日本进口单回路智能32段（40段）程序温度控制仪控制，PID参数自整定，精确实现温度的控制。设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能环保、使用温度高、寿命长、发热件更换方便、操作简单、维修方便等特点，是理想的科研设备，其性能达到国外同类产品的标准。 

 二．技术指标：

设备型号：GSL—150—1

最高温度： 1400℃     

工作温度： 1350℃

加热区长度：300mm

恒温区: 150 mm

温度均匀性： ±1℃

炉管实际尺寸：  Φ50（外径）×1000mm  （刚玉管）

炉膛材料：  莫来石纤维制品

控制温区个数：  1个，S分度热偶

控温精度： ≦±1℃，单回路智能32段（40段）程序仪表控制，PID参数自整定

加热元件：  优质硅碳棒加热

最大加热功率：  4Kw        

空炉保温功率：约2Kw

建议升温速率：   3℃～10℃/min

输入动力电源：  三相电源，50HZ ，380V±10%；6KW

炉体表面温升：  ≤60℃。

尺寸: 550 x 380 x 520 mm

净重: 50 Kg

保修期: 整机保修一年，相关耗材除外

  三．标准配件：

四．密封结构

五．可选配件

（一）．真空泵

1.产品型号：GZK-103D

       该系统由前级无油泵，后级分子泵，真空传感器和电子控制系统和LED液晶显示组成，此系统是用来抽吸或压缩空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，以便在封闭容器中形成真空和压力，吸入气体中允许混有少量液体。它被广泛用于机械、无油化工、制药、食品、制糖工业及电子领域。由于在工作过程中，气体的压缩是等温的，所以在压缩和抽吸易燃、易爆气体时，不易发生危险，所以其应用更加广泛。

        另外该系统采用德国产分子泵作为主工作泵，采用德国的机械泵作为分子泵前级泵，机械泵内部已有有隔断放气装置为非标准系统，它主要由连接管道，110分子泵，机械泵构成，通过标准配件连接，全部采用不锈钢材料，全部电抛光处理。系统设计有预抽功能。

2. 技术参数：

泵体积流量N₂:331/S                                                                          压缩比：10:11                                                                                    最终压力：≤4.5×10^-5mbar                                                                     功率消耗：140W                                                                                启动时间：2min                                                                                        电源要求：90-132/185-265VAC                                                                 环境温度：5-32℃                                                                             空气相对湿度：≤85℃                                                                         工作电压：220V±10%                                                                         功率：1KW                                                                                    系统极限真空度：1.0×10^-3Pa3.                                                                 外型尺寸：800×600×600mm4.                                                         主要配置：

机械泵（德国产）                                                                     抽气速率：4L/S                                                                   电极功率：400W                                                                           极限压强：6×10^-2Pa

分子泵（德国产）                                                                                抽气速率：100L/S                                                                    极限压强：6×10^-6Pa                                                               启动时间：＜2min                                                                 额定转速：4300转/分钟                                                              冷却方式：风冷/水冷

分子泵控制电源（德国产）                                                                     工作电压：110-240V                                                                  输出功率：250W                                                                   加速时间：1min                                                                   输出频率：高速740HZ±10%  低速430HZ±10%

真空传感器（德国产）                                                             工作电压：220V 50-60HZ                                                      电阻规阻值：约85Ω                                                          自动保护（电离）：＞10Pa

KF40高真空手动隔断阀                                                                    采用氟胶圈密封，快卸法兰接口漏率达5×10^-9Pa.m³/s                                            连接管路:采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1×10^-9Pa.m3/s

(二)．产品名称：多路浮子控制供气系统

1.主要特点：本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用，而不会造成大气进入加热炉管。 气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证

2.工作原理：

由气体钢瓶输入两种气体，形成A，B两种组份，经过减压阀减压，输出所需流量的气体，再通过调节每一组分的体积流量，输出预定比例关系的混合气体，达到加热炉所需求得气氛。三个连接头可连接二或三只气体钢瓶（只能同时启用二个钢瓶），如：H₂/A_R，H₂/N₂，O₂/N₂等。

严禁氢气和氧气同时供气，保证安全!

  将配比器进口的三个连接头直接连接到15MPa的供气钢瓶上，其中之一是氢气专用连接头，选择连接好两种气体，按顺序开启供气钢瓶上阀门、配比器上对应高压截止阀及三只流量计旋钮，再旋转减压阀旋钮增大气体压力，调节两种气体流量，输出所需要的压力和流量。

  本供气（混气）系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统，尤其方便多种气体的切换混合使用；气体压力和流量数据在同一平面直观可读，操作方便；每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全可靠！本系统广泛用于CVD供气系统，气体保护烧结，气体保护退火等。

3.技术参数：

气路通道：多通道（可根据客户需求设计通道）

气路流量控制器： 采用浮子流量计控制

标准量程：10-100ml/min 、16-160ml/min、 25-250ml/min

接口：Φ6.35,1/4''

工作环境温度:5~45高纯气体             

不锈钢管：Φ6_（外）X Φ4_内

压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止阀：Φ6.35

混气罐：Φ80×140mm

(三)．高纯氧化铝坩埚                                                                        提供高纯氧化铝坩埚,分舟型和桶型.