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RGK系列气氛管式炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺；也可应用于玻璃对金属的封装焊接石英制品的热处理、LED发光粉体材料的煅烧等工艺。
采用高纯石英管作为内炉膛，具有良好的洁净度；耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低；加热元件采用真空成型FEC陶瓷纤维加热器；温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性，温度控制精度高
最高温度可达1400度，其他参数按照用户提出系列要求来设计。
设备型号 | RGL-07/75/3 | RGL-09/60/6 | RGL-18/110/3 | RGL-25/100/6 |
最高温度 | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ | 1400℃ |
使用温度 | RT～1000℃ | RT～1000℃ | RT～1000℃ | RT～1250℃ |
控制精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ |
温区个数 | 3个 | 6个 | 3个 | 6个 |
加热区长度 | 750mm | 600mm | 1100mm | 1000mm |
炉管尺寸 | Ø70（外径）×2200（mm） | Ø90（外径）×1800（mm） | Ø1860（外径）×2100（mm） | Ø250（外径）×2100（mm） |
炉管材料 | 耐热钢管/石英管 | 石英管 | 石英管 | 碳化硅管 |
炉管数量 | 单管 | 双管 | 单管 | 单管 |
发热元件 | 进口电阻丝 | 进口电阻丝 | 进口电阻丝 | 硅碳棒 |
最大装机功率 | 8Kw | 15Kw | 20Kw | 60Kw |
