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真空管式炉

2022-04-24
27366次
真空管式炉
详细介绍:

真空管式炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺;也可应用于玻璃对金属的封装焊接石英制品的热处理、LED发光粉体材料的煅烧等工艺。

     采用高纯石英管作为内炉膛,具有良好的洁净度;耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;加热元件采用真空成型FEC陶瓷纤维加热器;温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性,温度控制精度高

     最高温度可达1700度,其他参数按照用户提出系列要求来设计。


设备型号

zkgsl--1800

最高温度

1800

使用温度

RT1700

控制精度

±1.5

温区个数

1

2

3


加热区长度

300mm

炉管尺寸

Ø30/Ø70(外径)×1200(mm)

炉管材料

刚玉管/石英管

炉管数量

单管

发热元件

进口电阻丝/硅碳棒/硅钼棒

最大装机功率

8Kw

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